DSP-STC2258型多功能数字式四探针测试仪 DSP-STC2258

DSP-STC2258型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。DSP-STC2258型多功能数字式四探针测试仪符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。


机械特性


DSP-STC2258型多功能数字式四探针测试仪

一、概述

     DSP-STC2258型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。 
      仪器成套组成:由主机、选配的四探针探头、测试台等部分组成。 
主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;电压电流全自动转换量程;测试结果由数字表头直接显示。本测试仪特赠设测试结果分类功能,*大分类10类。 
      探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头,也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。 
      测试台选配:一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选SZT-K型测试台,也可选配SZT-D型测试台以测试半导体粉末电阻率,选配SZT-G型测试台测试橡塑材料电阻率。详见《四探针仪器、探头和测试台的特点与选型参考》 
      仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。 
      仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 
 
二、基本技术参数
1. 测量范围、分辨率(括号内为可向下拓展1个数量级) 
    电    阻:10.0×10-6 ~ 200.0×10 Ω,    分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×10 Ω 
               (1.0×10-6 ~ 20.00×10 Ω,    分辨率0.1×10-~ 0.01×103 Ω) 
    电 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm   分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×10 Ω-cm 
               (1.0×10-6 ~ 20.00×10Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm) 
    方块电阻:50.0×10-6 ~ 1.0×106 Ω/□    分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×10 Ω/□  
               (5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□  分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×10 Ω/□) 
2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定) 
    直    径: SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm,手持方式不限 
    SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm,手持方式不限. 
     长(高)度:  测试台直接测试方式 H≤100mm,    手持方式不限. 
     测量方位:  轴向、径向均可 
3. 量程划分及误差等级 
满度显示
200.0
20.00
2.000
200.0
20.00
2.000
200.0
20.00
2.000
常规量程
kΩ-cm/□
kΩ-cm/□
Ω-cm/□
mΩ-cm/□
---
*大拓展量程
---
kΩ-cm/□
Ω-cm/□
mΩ-cm/□
mΩ-cm/□
基本误差
±2%FSB
±4LSB
±1.5%FSB
±4LSB
±0.5%FSB±2LSB
±0.5%FSB
±4LSB
±1.0%FSB
±4LSB
 
3.工作电源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W 
4.外形尺寸: 245mm(长)×220 mm(宽)×95mm(高)  
   净   重:≤1.5~2.0kg 




机械规格



装配一览表


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